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介绍四探针电阻率测试仪的测试探头

发布时间:2019-05-05 阅读:248

    四探针电阻率测试仪可以测量棒状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率,片状半导体材料的电阻率和扩散层方块电阻,换上特制的四端子测试夹还可以对低、中值电阻进行测量。

    对于半导体材料的电阻率,一般采用四探针、三探针和扩展电阻。电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多,四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便,精确度高,对样品的形状无严格要求。zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上,并且间距相等,都是S,一般采用0.5mm的间距,不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正,通过厚度数值的设置,计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

    根据不同材料特性需要,四探针电阻率测试仪配有多款测试探头:

    1、球形镀金铜合金探针探头,测量柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻;

    2、配合四端子测试夹具,测量电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻;

    3、高耐磨碳化钨探针探头,测量硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;

    4、专用探头可测试电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。

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