四探针电阻率测试仪校准技术详解

　　四探针电阻率测试仪产品概述

　　常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。

　　一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

　　四探针电阻率测试仪技术参数如下：

　　1.测量方式： 电脑程序自动测量，或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示，此时非常适合测试不规整样片单点测量，适合实际研究需要。

　　2.测量的数据： 方块电阻/电阻率/薄膜厚度，根据具体应用可以设置不同测量程序。

　　3.测量的点数： 程序编排任意测量点位置及测量点数量，对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。

　　4.边缘修正：具有边缘修正功能，即片子边缘3mm以内区域都能测量。

　　5.探针材料：钨钢与硅片的接触电阻小，且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料，以确保长时间使用后间距的一致性。